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吉时利全自动半导体参数分析仪

简要描述:吉时利全自动半导体参数分析仪4200A-SCS参数分析仪加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是业内性能电学特性参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试(I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试(C-V曲线测试)和超快脉冲I-V曲线测量。

  • 产品型号:4200A-SCS
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-11-07
  • 访  问  量:80

详细介绍

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吉时利全自动半导体参数分析仪4200A-SCS参数分析仪

吉时利全自动半导体参数分析仪4200A-SCS参数分析仪

加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是业内性能电学特性参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试(I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试(C-V曲线测试)和超快脉冲I-V曲线测量。


  主要性能指标

  I-V源测量单元(SMU)

  ●±210 V/100 mA或±210 V/1 A模块


  ●100 fA测量分辨率


  ●选配前端放大器提供了0.1 fA测量分辨率


  ●10 mHz-10 Hz超低频率电容测量


  ●四象限操作


  ●2线或4线连接


  C-V多频率电容单元(CVU)


  ●AC阻抗测量(C-V,C-f,C-t)


  ●1 kHz-10 MHz频率范围


  ●±30 V(60V差分)内置DC偏置源,可以扩展到±210 V(420 V差分)


  ●选配CVIV多功能开关,在I-V测量和C-V测量之间简便切换


  脉冲式I-V超快速脉冲测量单元(PMU)


  ●两个独立的或同步的高速脉冲I-V源和测量通道


  ●200 MSa/s,5 ns采样率


  ●±40 V(80 V p-p),±800 mA


  ●瞬态波形捕获模式


  ●任意波形发生器Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10ns可编程分辨率


  高压脉冲发生器单元(PGU)


  ●两个高速脉冲电压源通道


  ●±40 V(80 V p-p),±800 mA


  ●任意波形发生器Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10ns可编程分辨率


  -V/C-V多开关模块(CVIV)


  ●在I-V测量和C-V测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针


  ●把C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针


  远程前端放大器/开关模块(RPM)


  ●在I-V测量、C-V测量和超快速脉冲I-V测量之间自动切换


  ●把4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安


  ●降低电缆电容效应


  4200A-SCS-PKA高分辨率IV套件


  4200A-SCS:参数分析仪主机


  4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率SMU


  4200-PA:一个预放大器


  8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具


  4200A-SCS-PKB高分辨率IV和CV套件


  4200A-SCS:参数分析仪主机


  4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率SMU


  4200-PA:一个预放大器


  4215-CVU:一个高分辨率多频C-V单元


  8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具


  4200A-SCS-PKC高功率IV和CV套件


  4200A-SCS:参数分析仪主机


  4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率SMU


  4211-SMU:两个用于高容量设置的高功率SMU


  4200-PA:两个预放大器


  4215-CVU:一个高分辨率多频C-V单元


  8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具


  4200-BTI-A超快NBTI/PBTI套件


  用于使用硅CMOS技术进行的复杂NBTI和PBTI测量


  4200-BTI-A套件包括:


  1个4225-PMU超快I-V模块


  2个4225-RPM远程预放大器/开关模块


  自动化检定套件(ACS)软件


  超快BTI测试项目模块布线


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