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布鲁克Dimension Edge PSS原子力显微镜

简要描述:布鲁克Dimension Edge PSS原子力显微镜具有AutoMET™计量软件的布鲁克Dimension Edge™PSS原子力显微镜是LED基板和外延制造商的理想纳米计量和纳米检查系统。作为Dimension Edge AFM平台的扩展,Edge PSS融合了Dimension AFM系统所享有的令人难以置信的价值和分辨率,同时还提供了产品

  • 产品型号:Edge PSS
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2019-09-26
  • 访  问  量:430

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别进口
应用领域环保,化工,生物产业,地矿,电子

布鲁克Dimension Edge PSS原子力显微镜

的PSS计量功能

带有AutoMET的Dimension Edge PSS提供了纳米分辨率,可用于分析PSS基板的每个关键参数,同时自动收集整个晶片和晶片之间的信息。

布鲁克的PSS分析包可以同时提供以下数据:

  • 高度,宽度和间距
  • 侧壁角度和特征轮廓
  • 新:不对称识别和测量
  • 新:污染识别
  • 新:转弯识别和转弯角度
  • 新:平顶识别

AutoMET软件分析具有新的测量功能

New_AutoMET_Software_Analysis_features.png

我们在AutoMET软件中添加了新的测量功能,以增强PSS结构的分析。

Dimension Edge PSS具有亚微米间距分辨率,可满足LED制造路线图的需求。其小于0.2nm的本底噪声可提供裸露的基板和Epi粗糙度测量,并且可容纳2至6英寸的晶片,从而提供了样品灵活性。

Dimension_Edge_PSS_closeup_300x377.png

带有9个晶片卡盘的Dimension Edge PSS AutoMET软件和系统。

布鲁克Dimension Edge PSS原子力显微镜

 

PSS的3D计量和过程控制

具有AFM 3D分辨率的AutoMET自动化计量和生产功能

具有AutoMET™计量软件的布鲁克Dimension Edge™PSS原子力显微镜是LED基板和外延制造商的理想纳米计量和纳米检查系统。作为Dimension Edge AFM平台的扩展,Edge PSS融合了Dimension AFM系统所享有的令人难以置信的价值和分辨率,同时还提供了产品

尺寸Edge PSS Automet晶圆图像

平顶图案蓝宝石衬底的3D AFM图像。

基于基体测量的解决方案。该系统集成了布鲁克专有的AutoMET控制和分析软件,该软件专门为满足图案化蓝宝石衬底(PSS)供应商的需求而设计,可提供价值不菲的原子力显微镜*的自动化水平和易用性。

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