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布鲁克InSight CAP自动原子力显微镜

更新时间:2019-09-26

简要描述:

布鲁克InSight CAP自动原子力显微镜在先进技术节点上,利用多图案光刻技术对CMP提出了纳米工艺控制要求,以满足聚焦深度的需求。InSight CAP围绕新一代的AFM扫描仪构建,可在65μmX / Y扫描范围内提供小于10纳米的改进平面度。

布鲁克InSight CAP自动原子力显微镜

InSight CAP紧凑型原子探查器

基于生产的深度计量

布鲁克的InSight CAP自动原子力轮廓仪专门设计用于半导体制造商和供应商的CMP和蚀刻计量的组合平台。InSight CAP系统具有300毫米自动处理功能和久经考验的GEM工厂自动化软件。

InSight CAP提供

  • CMP和蚀刻的行业的精度和分辨率
  • 无需模型的无损计量
  • 在线计量只需几分钟即可完成,适用于技术开发
  • 占地面积小,配置灵活,可实现拥有成本

布鲁克InSight CAP自动原子力显微镜计量

在先进技术节点上,利用多图案光刻技术对CMP提出了纳米工艺控制要求,以满足聚焦深度的需求。InSight CAP围绕一代的AFM扫描仪构建,可在65μmX / Y扫描范围内提供小于10纳米的改进平面度。该系统的NanoScope®V 64位AFM控制器提供5倍的接合性能和5倍的调谐速度,以提高生产率,同时还具有增强的可靠性。其DT自适应扫描模式还有助于加快扫描速度并改善计量。凭借其先进功能的结合,InSight CAP高分辨率轮廓仪可实现埃级精度,以测量宏观凹陷和腐蚀。

Insight CAP图

InSight CAP蚀刻深度计量


 

价值平台

灵活的配置可支持100毫米至300毫米的晶圆尺寸,从而可以针对各种终应用进行精确测量。从高效的实验室到全自动的晶圆厂,InSight CAP Profiler可以针对经济高效的计量解决方案进行配置。

 

 

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