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布鲁克Dimension HPI原子力显微镜

更新时间:2019-09-26

简要描述:

布鲁克Dimension HPI原子力显微镜(AFM)系列在为工业计量应用提供的可用速度和性能方面享有悠久的声誉。Dimension HPI和PRO系统是专为大批量生产环境而设计的,能够自动测量多种A​​FM模式,同时确保大程度的易用性和低的每次测量成本,以进行质量控制,质量保证和故障分析。

布鲁克Dimension HPI原子力显微镜

HPI维度-用于R / D / QA / QC / FA的具有成本效益的精密计量

Dimension®原子力显微镜(AFM)系列在为工业计量应用提供高的可用速度和性能方面享有悠久的声誉。Dimension HPI和PRO系统是专为大批量生产环境而设计的,能够自动测量多种A​​FM模式,同时确保大程度的易用性和低的每次测量成本,以进行质量控制,质量保证和故障分析。这些系统使用接触,敲击和PeakForceTapping®模式技术,使用户能够精确地控制探针与样品的相互作用,从而提供较长的探针寿命,并具有数千次测量的高精度结果。

•在苛刻的大批量环境中具有出色的计量性能和功能
•单个AFM平台中的自动测量和灵活的灵活性
•支持从研发到量产批量的各种应用
•较可靠的平台和的支持

 

适用于工业的布鲁克AFM技术

 

尺寸图标HPI

Dimension平台在聚合物,半导体,数据存储,高亮度LED和显示行业等领域拥有大的AFM安装基础。HPI利用开放访问平台,大样本或多样本支架以及众多易于使用的功能,将原子力显微镜的强大功能带给制造商,为您提供,先进的解决方案QA / QC / FA中的纳米级计量—经济高效且可靠。

 

较广泛的测量类型

从我们*的PeakForce攻丝模式到传统AFM模式,Dimension HPI系统提供了大范围和灵活性,可满足您对各种样品的特定测量和表征需求

高精度的粗糙度,深度和高度测量

尺寸HPI使用PeakForce攻丝和布鲁克专有的高*寿命探针,可提供从亚纳米级到高深宽比沟槽的高度可重复且精确的粗糙度,高度和深度测量。

较全面的缺陷审查特征

可以在各种晶圆,基板和滑块上定位并表征纳米级缺陷。PeakForceQNM®可以独特地提供组合的3D成像和机械性能信息。

布鲁克Dimension HPI原子力显微镜快速纳米电测量

具有导电AFM(CAFM)的FastScan技术可以以高扫描速率执行纳米级电流测量,从而大大提高了故障分析测量的效率。通过使用小型磁力显微镜(MFM)悬臂,FastScan HPI和PRO使用PeakForce Tapping为MFM应用提供了超过10倍的扫描速率改进,并具有出众的数据质量。PeakForce KPFM™提供高的空间分辨率和准确的表面电势测量。PeakForce TUNA™提供敏感的电导率测量。

精确的纳米级机械制图

布鲁克独特的PeakForce QNM和FastForce Volume™纳米级机械制图模式可以精确制图机械性能-模量,刚度,附着力,耗散和变形-同时成像样品的形貌和电性能。利用PeakForce QNM,可以对聚合物,薄膜和纳米级缺陷进行无损测量,而这些缺陷是无法通过透射电子或扫描电子显微镜技术进行测量的。

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Dimension HPI和Dimension PRO平台在 为工业计量应用
提供高可用
速度和性能方面享有悠久的声誉。

 

 

 

FastScan Pro配方窗口v1

配方窗口显示了基于晶片的布局,用于在晶片内进行精确的用户定义的XY测量位置。

自动测量多个样品

 

AutoMET™全配方软件提供快速,自动化的计量,简单的操作和AFM适应性,可轻松捕获关键到高质量的测量值。自动扫描地形,粗糙度,台阶高度,纳米机械,纳米电气和其他计量模式。

易于使用,使每个用户都成为AFM专家。

 

 

无论您的AFM经验水平如何,都可以实现精确的测量。ScanAsyst算法与AutoMET软件一起可自动连续监控图像质量并进行必要的参数调整。

晶圆v1的FastScan Pro配方窗口

简便的测量配方创建功能使工程师可以通过名称定义位置,分配任何类型以及在每个位置进行编号测量。

支持从研发到生产运行的各种应用

  • 半导体:裸晶片粗糙度测量和缺陷检定特性,纳米节点电气设备的特性和故障隔离以及精确的台阶高度和深度测量。
  • 数据存储:基于生产的较精确,分辨率和高通量的滑块计量,介质基板粗糙度和缺陷检查特性,以及出色的分辨率,晶圆,介质和滑块的电气和磁故障分析特性。
  • 聚合物和薄膜:快速表征一个,数十个或数千个样品,具有大的结果相关性,纳米节点电气设备的表征和故障隔离以及同时的形貌和机械性能映射。
  • 高亮度LED和太阳能材料:自动化的HB-LED图案蓝宝石(PSS)深度和形状计量,精确的HB-LED基板粗糙度以及HBLED和太阳能材料的电特性。
  • 显示器制造:用于显示器开发的准确的纳米级测量,自动测量纳米级粗糙度以控制显示质量以及在数千次测量后精确表征显示器纳米纹理

多组分聚合物共混物样品

模量图

使用PeakForce QNM成像的多组分聚合物共混物的模量图。明确存在三种不同的成分:浅蓝色成分(A),深蓝色成分(B)和红色/黑色成分(C)。(7μm扫描)。

Ra nm线图

布鲁克的原子力显微镜和高性能工业探头可为较苛刻的关键质量纳米级测量提供*且可靠的测量。

 

致力于保持您的正常运转,并帮助您应对制造挑战。

30周年纪念章

通过提高运营效率降低成本。

 

Dimension平台在半导体,数据存储,HB-LED和聚合物行业的所有AFM中拥有大的安装基础。

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