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详细介绍
| 品牌 | 国仪量子 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气 |
| 图像采集速度 | 10 ns/pixel，2*100 M pixel/s | 加速电压 | 100 V~6 kV(减速模式) ； 6 kV~30 kV(非减速模式) |
| 分辨率 | 1.3nm@3kV，SE；1.5nm@1kV，SE，0.9nm@30kV，STEM | 视场大小 | 最大视场1*1 mm2，高分辨微畸变视场64*64 um2 |
| 样品台精度 | 重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um |
国仪量子HEM6000高速扫描电子显微镜是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。
国仪量子HEM6000高速扫描电子显微镜面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。
高速扫描驱动器
驻点时间10 ns/pixel，
最快采集速度2*100 M pixel/s
电子过滤系统
SE/BSE信号自由切换，
信号混合比例可调
全静电高速偏转系统
可实现高分辨大场模式，
4 nm像素点最大视场达64*64 um²
样品台减速技术
降低入射电子落点电压，
同时提高回收电子的收集效率
浸没式电磁复合物镜
物镜磁场浸没样品
实现了低像差高分辨率
1、高速自动化
全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍
2、大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变
3、低压高分辨
样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率
| 关键参数 | 分辨率 | 1.3nm@3 kV，SE ; 1.5nm@1 kV，SE | |
| 1.9nm@ 3 kV, BSE; 2.3nm@ 1 kV, BSE | |||
| 0.9nm@30kV，STEM | |||
| 加速电压 | 100 V~6 kV(减速模式) | ||
| 6 kV~30 kV(非减速模式) | |||
| 放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | ||
| 物镜类型 | 浸没式电磁复合物镜 | ||
| 偏转系统 | 静电偏转器 | ||
| 样品装载系统 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 | |
| 样品监控 | 样品仓监控水平摄像头； 换样仓监控垂直摄像头 | ||
| 样品最大尺寸 | 直径4英寸 | ||
| 样品台 | 类型 | 电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台） | |
| 行程 | X、Y轴：110mm； Z轴：16mm； | ||
| 重复定位精度 | X轴：±0.6μm； Y轴：±0.3μm； | ||
| 换样方式 | 全自动控制 | ||
| 换样时间 | ＜15 min | ||
| 换样仓清洗 | 全自动控制等离子清洗系统 | ||
| 图像采集与处理 | 驻点时间 | 10 ns/pixel | |
| 图像采集速度 | 2*100 M pixel/s | ||
| 图像大小 | 24K*24K | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内混合电子探测器 | |
| 选配 | 低角度背散射电子探测器 | ||
| 镜筒内高角度背散射电子探测器 | |||
明场透射电子探测器 | |||
| 高角/中角/底角暗场透射电子探测器 | |||
| 压电驱动样品台 | |||
| 高分辨大场模式 | |||
| 样品仓等离子清洗系统 | |||
| 6英寸样品装载系统 | |||
| 主动减震台 | |||
| AI降噪；大图拼接；三维重构 | |||
| 软件 | 语言 | 中文 | |
| 操作系统 | Windows | ||
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | ||
| 自动功能 | 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | ||
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