日本电子JSM-IT710HR扫描电子显微镜

JSM-IT710HR是JEOL 以 “任何人都能轻松拍摄高分辨率图像的SEM" 为理念而推出的HR*系列的第四代产品。操作的自动化和观察性能的提高，可以实现用户从可以看见到对未知的探索。

清晰的可见性促进新发现！

目前，除了纳米级的分辨率和分析性能外，数据采集的处理能力也被认为是重要的。JSM-IT710HR是JEOL 以 “任何人都能轻松拍摄高分辨率图像的SEM" 为理念而推出的HR*系列的第四代产品。

JSM-IT710HR操作的自动化和观察性能的提高，可以实现用户从可以看见到对未知的探索。

///  超越所见，探索未知 ///

降低荷电:  样品提供：东京农工大学 工学部生命工学科  朝倉哲郎先生

晶体结构分析:  样品提供：物质材料研究所(NIMS)  津﨑 兼彰先生

日本电子JSM-IT710HR扫描电子显微镜

   新功能                                                                                                                              

1. 自动观察：Simple SEM/EDS

    Simple SEM 通过一次设定多个条件来实现自动测试，提高了日常工作效率。

2. Live 3D: 实时3D

    在低倍率下可以观察3D活图像。

3. 低真空混合二次电子检测器（LHSED）

    LHSED是新型低真空检测器，能够在光发射信息和形貌像之间切换观察。

4. 肖特基场发射电子枪的稳定性提高了4倍多

> 自动电子束调整

    JSM-IT7010HR从合轴到像散、对焦可以自动调整，不需繁琐的手动。

> 二次电子检测系统

     左侧样品：孔雀羽毛,  右侧样品：纤维素微纤维

> 高分辨率和大束流

     JSM-IT710HR的肖特基场发射电子枪和聚光镜一体化集成，在生成大束流的同时保持小束斑，能够进行高分辨观察和分析。

> 背散射电子检测系统

     新型的多分割背散射检测器可以同时从4个方向采集背散射信息，生成简单的3D像并实时显示。

5. 所有分析都从Zeromag开始

   使用Zeromag的光学像，视野搜寻能力提高；SEM像与光学像联动，观察、分析和自动测试简单化。

6. EDS一体化集成

   JEOL除了SEM，还自主生产和销售EDS。利用这一优势，可以集中操作和管理SEM的观察画面和EDS分析结果，操作性和数据管理能力得到了提高。

7.  相分析

     JEOL的EDS增加了相分析功能，可以对每种物质（化合物/单体）进行面分布分析。

样品：精密切削刀片的截面

相分析表明，Co、Cu和Sn富区组分存在差异。

Co area: 68.15%

CuSn (CuRich) area: 16.25%

CuSn (SnRich) area: 14.54%

   应用实例                                                                                                                          

1. 电子器件

    JSM-IT710HR的应用特性：高分辨、高对比度、广域观察。

》

》布线图

利用低真空功能，对布线图表面进行大面积观察。

样品：布线图表面, 倍率：×200 (左), ×300 (右), 真空压力： 70 Pa, 加速电压： 15 kV

》SRAM

》AL焊盘

通过同时获取低真空二次电子像和背散射电子像，可以获取大面积试样表面的形貌信息和成分信息。

样品：AL焊盘表面,  倍率: ×100, 真空压力: 70 Pa, 加速电压: 15 kV

》钢铁

适用于EBSD分析的光学系统（肖特基场发射枪和透镜外物镜）

》能源和陶瓷

JSM-IT710HR的分析能力和低真空功能

钙钛矿太阳能电池基片纳米层的高精度分析

陶瓷基片(Si3N4)

低真空功能可以进行非导电样品分析

加速电压: 5 kV, 低真空元素面扫 (30 Pa), 机器铣削的氮化硅基片表面*

*表面光洁度：机铣后平面氩离子铣

》软质材料与生命科学

JSM-IT710HR 的低加速电压、低真空功能以及超低倍率观察

ABS树脂

即使在几万倍的放大倍数下，也可以进行高精度和稳定亮度的多幅图像观察。

明胶

高亮度，高分辨二次电子像

人造血管

在载玻片上从低倍率到高倍率观察生物样品。