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KOSAKA台阶仪ET10000薄膜测厚仪

简要描述:KOSAKA台阶仪ET10000薄膜测厚仪台阶仪 对应大面积样品段差测定的全自动机型。

● 机台尺寸可根据样品/工件尺寸订制。

● 针对生产线全自动大型工件开发,可搭配机械手臂自动进退样品。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-01-29
  • 访  问  量:722

详细介绍

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KOSAKA台阶仪ET10000薄膜测厚仪产品概述:


● 对应大面积样品段差测定的全自动机型。

● 机台尺寸可根据样品/工件尺寸订制。

● 针对生产线全自动大型工件开发,可搭配机械手臂自动进退样品。


 高精度.安定性.机能性适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。


● 是多机能的全自动微细形状测定机,针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。


● ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。


● ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。


● ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。


● ET4300一适合12"样品测量。

台阶仪/膜厚仪ET4000系列产品参数


KOSAKA台阶仪ET10000薄膜测厚仪产品概述:




重现性1σ 1nm
测定范围Z:100um
分解能Z:0.1nm X:0.1um
测定力0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)



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