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KOSAKA台阶仪ET4000薄膜测厚仪

简要描述:KOSAKA台阶仪ET4000薄膜测厚仪台阶仪可以应用在半导体,光伏/太阳能,光电子,化合物半导体,OLED,生物医药,PCB封装等领域的薄膜厚度,台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),划痕深度,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量方面。其高精度,高重复性,自动探索样品表面

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-01-29
  • 访  问  量:392

详细介绍

品牌其他品牌应用领域能源,电子,汽车,电气

KOSAKA台阶仪ET4000薄膜测厚仪产品概述:

● 高精度.安定性.机能性适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。


● 是多机能的全自动微细形状测定机,针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。


● ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。


● ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。


● ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。


● ET4300一适合12"样品测量。

台阶仪/膜厚仪ET4000系列产品参数


KOSAKA台阶仪ET4000薄膜测厚仪产品概述:


最大试片尺寸210×210mm~300×400mm
重现性1σ 0.5nm以内
测定范围Z:100um X:100~305mm (Y移动量:150~400mm)
分解能Z:0.1nm X:0.1um
测定力

0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)


台阶仪可以应用在半导体,光伏/太阳能,光电子,化合物半导体,OLED,生物医药,PCB封装等领域的薄膜厚度,台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),划痕深度,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量方面。其高精度,高重复性,自动探索样品表面


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