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DEKTAK XT布鲁克台阶仪/表面轮廓仪

简要描述:DEKTAK XT布鲁克台阶仪/表面轮廓仪台阶仪主要用于材料表面的2D,3D测量,可以测试台阶高度,表面粗糙度;同时也适合材料表面沟槽深度的测试;能够在微电子,半导体及化合物半导体,太阳能、超高亮度发光二极管(LED)、OLED、ITO、微流控、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。Dektak台阶仪测量薄膜材料可以达到埃级重现性和1nm-1mm的测量范围。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-01-28
  • 访  问  量:1745

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详细介绍

品牌Alicona/奥地利价格区间面议
产地类别进口应用领域化工,能源,电子,电气

DEKTAKXT布鲁克台阶仪/探针式表面轮廓仪)可以提供更高的重复性和分辨率,测量重复性可以到5Å。台阶仪这项性能的到了过去四十年Dektak技术,更加巩固了其行业。不论应用于研发还是产品测量,通过在研究工作中的广泛使用,DektakXT能够做到功能更强大,操作更简易,检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)的技术,使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二管的研发以及材料科学领域。

DEKTAKXT布鲁克台阶仪/探针式表面轮廓仪)

  1、使用温度条件:10-30℃;

  2、台阶高度重现性低于4A

  3、Single-arch设计提供扫描稳定性

  4、*的“智能电子器件"设立了新低噪音基准

  5、新硬件配置使数据采集时间缩短

  6、64-bit,Vision64同步数据处理软件,使数据分析速度高了10倍

  7、频率,操作简易

  8、直观的Vision64用户界面,操作简易

  9、针尖自动校准系统

 1968年台阶仪DektakⅠ面世以来,迄今已有50多年的发展历程。通过整合技术,突破创新,Dektak系列台阶仪已经来到了第十代,目前我们主要有两种型号:桌面式DektakXT(图1),样品兼容可到8寸;另外一款是集成了防震台一体化的落地式DektakXTL,它的兼容样品可以达到12寸(图2)。布鲁克第十代Dektak产品在过去五十年不断的技术创新,得到众多使用客户的认可。

  DektakXT是使用single-arch设计的探针轮廓仪,single-arch设计及智能电子器件,大大改善了设备稳定性,进一步提高防震性能。DektakXT在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现,台阶高度重复性可低于4Å。使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更加稳固,降低了对不利环境条件的敏感性,如声音和震动噪音。


  对多用户仪器而言,能快速轻松更换探针以适应不同应用是必要的。Dektak台阶仪的转接头和探针通过强磁吸附进行连接,在探针更换工具的配合下,更换探针简单、方便、易操作(图3)。DektakXT新的针尖自动校准,消除任何潜藏的针尖更换/校准隐患。这一技术让其他困难并耗时的任务变得轻松且快速。为尽量满足使用的要求,Bruker提供了范围广泛的标准和客户定制探针规格,包括用于深沟渠测量的高径比针尖。


  作为探针式表面轮廓仪核心的部件—传感器,DektakXT采用LVDT传感器原理,即LinearVariableDifferentialTransformer线性可变差动变压器(图4),其优势包括:无摩擦测量、延长机械寿命、提高分辨率、零位可重复性、轴向、坚固耐用、环境适应性、输入/输出隔离。

数据采集和分析速度

  直接驱动扫描平台,DektakXT减少了扫描间的时间,而没有影响分辨率和背景噪声。这一改进大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描(就探针轮廓仪而言,通常是耗时的)的扫描速度。在行业的质量和重现性前提下,DektakXT可以将数据采集处理的速度。另外,DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64,它可以大范围3D形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内的直观用户界面,简化了实验操作设置,自动完成多扫描模式,让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。。

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