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CGO-4高低温真空探针台测试系统

更新时间:2020-07-09

简要描述:

CGO-4高低温真空探针台测试系统
77K-675K(液氮);

超高温度分辨率;

低温具有极高稳定性

CGO-4高低温真空探针台测试系统 

77K-675K(液氮);

超高温度分辨率;

低温具有极高稳定性

特点/应用

2至6英寸样品台

高真空腔体

防辐射屏设计,样品温度均匀性更好

77K-675K高低温环境

兼容IV/CV/RF测试

外置多探针臂,移动行程大

经济实用,可无缝升级

CGO-4高低温真空探针台测试系统 

极低温测试:

因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

高温无氧化测试:

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

    晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

 

腔体规格:

型号

CGO-2/CGO-4/CGO-6

样品台尺寸

2英寸/4英寸/6英寸

样品固定

弹簧压片

观察窗口

2英寸/4英寸/6英寸

真空度

10-6torr

探针臂接口

4~6个探针臂接口

其他接口

电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

制冷方式

液氮/液氦/制冷机

温度范围

77K到573K/4.5K到573K

温控精度

0.1K/0.01K/0.001K

稳定性

±1K/±0.1K/±0.01K

外形

880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高

重量

约100千克/120千克

 

 

◆ 光学系统:

显微镜类型

单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移动行程

水平360度旋转,Z轴行程50.8mm

光源

外置LED环形光源/同轴光源

CCD

200万像素/500万像素/1200万像素

 

 

◆ 探针臂:

X-Y-Z移动行程

50mm*50mm*50mm

结构

外置探针臂,真空波纹管结构

移动精度

10微米/1微米

线缆

同轴线/三轴线/射频线

漏电精度

10pA/100fA/10fA

固定探针

弹簧固定/管状固定

接头类型

BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

频率支持

DC-67GHZ

针尖直径

0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

 


 

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