蔡司GeminiSEM 460扫描电镜

蔡司GeminiSEM可助您轻松实现亚纳米级分辨率的成像。出色的成像和分析技术更使FE-SEM（场发射扫描电子显微镜）如虎添翼。我们采用创新的电子光学系统和全新样品仓设计，不仅操作更加简便，用途更加灵活多样，还可为您带来更高的图像质量。无需水浸物镜即可拍摄低于1 kV的亚纳米级图像。探索蔡司Gemini电子光学系统的三种设计：

• 分析测试平台的理想选择——蔡司GeminiSEM 360

• 实现高效分析——蔡司GeminiSEM 460

• 表面成像的新标准——蔡司GeminiSEM 560

GeminiSEM 360

GeminiSEM 360是用于您分析测试平台的理想设备，为材料和生命科学、工业领域提供了良好的功能性。凭借其Gemini 1电子光学镜筒，GeminiSEM 360可为各种应用和样品类型提供高分辨率成像及分析。

高样品灵活性

✔ GeminiSEM 360是用于分析测试平台的理想设备，为材料和生命科学、工业领域提供了良好的功能性。

✔ 同名的Gemini 1电子光学设计提供表面灵敏的高分辨率图像，即使在低电压条件下仍具有出色的分辨率，并在高探针电流条件下提供快速成像。

✔ Inlens二次电子成像和背散射电子成像可同时收集高分辨率的表面形貌和复合成分衬度信息（对电子束敏感样品亦是如此）。

✔ 在低真空条件（即可变压力）下对绝缘样品进行成像时，无需牺牲Inlens衬度：NanoVP保证了出众功能，确保在不受荷电影响的情况下进行Inlens成像。

出色的用户体验

✔ GeminiSEM 360带来良好的用户体验：凭借其宽阔的观察视野和高度个性化的全新样品仓，即使在面对超大型样品时也能轻松检测。

✔ 通过蔡司ZEN Connect实现的关联式成像和关联显微技术，让您畅享无缝导航。

✔ 使用自动功能（如自动聚焦功能和智能探测器），轻松获得清晰图像。

✔ 几何对称设计的EDS端口和共面式EDS/EBSD几何结构，让您在执行高效成像和分析工作流程时更加游刃有余。

✔ 蔡司Predictive Service（预防性维护）可让您充分利用系统运行时间，尽享随时进行定期维护的优势。

杰出的拓展能力

✔ 系统可不断升级是保障您的投资的前提条件。因此，GeminiSEM 360也是蔡司ZEN core软件生态系统中的一员，让您能够畅享系统升级的便利。

✔ ZEN Connect可结合多模态和多尺度数据，ZEN Intellesis用于高级人工智能所支持的图像分割，ZEN的分析模块用于报告和分析分割的数据，ZEN数据存储让您可以通过连接实验室中不同设备采集的数据来集中管理项目。

✔ 作为APEER社区的成员，您可访问其他用户创建的工作流和脚本，从而远程帮助您解决难题。

✔ 由于提供明确的升级路径，系统可随新功能的发布得到进一步提升。

蔡司GeminiSEM 460扫描电镜

蔡司GeminiSEM 460扫描电镜专为应对要求严苛的分析任务设计，可实现高效分析和自动化的工作流程。在面对显微镜领域充满挑战的分析任务时，其Gemini 2镜筒能够助您一臂之力，成像与分析条件可无缝切换。

兼顾高分辨率和高电流

✔ GeminiSEM 460专为应对要求严苛的分析任务设计，可实现高效分析和自动化的工作流程。

✔ 快速执行高分辨率成像和分析：使用Gemini 2镜筒，从低束流-低电压工作条件无缝切换到高束流-高电压工作条件（或反之）。

✔ 同时，可使用多个探测器对任意样品进行表征。

✔ 利用多功能样品仓进行高效分析，还可选择合适的分析探测器。

✔ 在全新的VP模式下，调高电流，获得计数率达4000点/秒的EBSD成像。

✔ 通过两个几何对称的EDS端口和共面式EDS/EBSD配置，可以检测化学组分和晶体取向，实现高速、无阴影的EDS/EBSD成像。

定制自动化工作流

✔ 由于拥有如此强大的分析能力，工作流程的自动化便显得至关重要。使用蔡司的Python脚本API，可创建并配置属于您的自动化实验流程。

✔ 根据您的个性化需求修改实验流程并量身定制想要的效果。

✔ 充分利用STEM断层扫描成像功能：将自动倾斜和旋转功能与特征跟踪功能有效结合，在将所有对齐的图像发送至专属三维重构软件后，可构建具有纳米级分辨率的三维断层成像。

✔ 若需要测试材料承受极限，蔡司会为您提供执行自动化原位加热和拉伸实验的实验平台，在实验过程中，可自动为您呈现材料在加热和拉伸下的情况，并实时绘制应力应变曲线。

为您带来更多可能性

✔ 以Gemini 2镜筒的设计为基础，在用于材料和生命科学领域时，超高可调电流密度条件下的分析能力显著提升，即使在低电压条件下亦是如此。

✔ 您可充分利用各种配件来升级系统。例如，不仅可以加入分析设备，还可使用原位实验设备、冷冻成像和纳米探针设备对多功能样品仓进行配置。存储器可让您连接到实验室中不同设备采集的数据，从而能够集中管理项目。

✔ 在使用设备期间，可随时轻松装配和升级各种配置。

✔ 所有GeminiSEM均加入了蔡司ZEN core生态系统，通过这项功能，您可访问ZEN Connect、ZEN Intellesis及ZEN的分析模块，帮助您生成报告和实现GxP工作流程。

GeminiSEM 560

GeminiSEM 560全面提升了表面灵敏度、无畸变、高分辨率成像的标准，能够在低于1 kV的条件下轻松成像。还引入了Gemini 3镜筒及全新的电子光学引擎Smart Autopilot，能在任何工作条件下达到该系列的高分辨率。

轻松实现1 kV以下成像

✔ Gemini 3镜筒在低于1 kV、分辨率低于1 nm的条件下进行无漏磁成像，且无需样品台偏压或单色器。其包含Nano-twin物镜和全新的电子光学引擎Smart Autopilot。

✔ 采用全新可变压力模式和探测系统可获得非导电物质的图像：在VP模式下，通过低光毒性样品交换舱后，将真空敏感样品放入样品仓，可确保在保留特征的同时快速获得结果。

✔ 利用带双EDS端口的全新大样品仓轻松分析精细样品。出色的探测器立体角确保您获得快速、无阴影的成像。

整合专业知识

✔ 该系统的观察视野大大增加，从而可以轻松进行简便的样品导航。

✔ 对于要求极为严苛的样品，全新的电子光学引擎Smart Autopilot大幅提升了成像速度。其可以节省时间，让您无需进行耗时的对焦：此款引擎能够驱动电子光学系统，放大倍率范围从小于1倍到高达500,000倍，可全程进行自动对中、校准和聚焦。获得专li的全新视差自动聚焦也包含在内，全新的自动摆动功能为您在数秒之内提供清晰图像。

✔ Python脚本可在三维STEM断层扫描成像等自动化工作流中使用这些功能。

体验出色的衬度

✔ 在您设置的工作前提下找到有效点意味着您已经选择了正确的参数组合，而实现理想图像的诀窍则是找到该参数组合。Gemini无漏磁技术及其全新的Gemini 3镜筒可为您呈现理想的参数组合，助您探索新信息。

✔ 样品上的磁场小于2 mT，能轻松实现磁畴衬度成像。采用可进行能量选择的Inlens背散射探测器可执行能量光谱成像，采用环形背散射探测器可执行电子环形光谱成像。

✔ 使用ZEN Connect将所有数据汇集在一起，细分并报告您的发现。

Gemini电子光学系统背后的科技

Gemini 1

基本原理简介

FE-SEM专为高分辨率成像设计，性能的一个关键是其电子光学镜筒。Gemini是为实现任何样品的出色分辨率而特别设计的（尤其在低加速电压下），可实现完整高效的探测，且操作简单。

Gemini电子光学系统有以下三个主要特征：

● Gemini物镜的设计结合了静电场与电磁场，在大幅提升光学性能的同时大大降低了对样品的影响。如此也可实现对磁性材料等具有挑战性的样品的高品质成像。

● Gemini电子束推进器技术是一种集成光束减速器，确保了小尺寸的电子束斑和高信噪比。

● Gemini Inlens的探测设计原理通过同时探测二次电子（SE）和背散射电子（BSE），大幅缩短到图像的时间，确保了高效的信号探测。

针对您的应用，可以有以下优势：

✔ SEM电子束对准可长期保持稳定，改变探针电流和加速电压对系统几乎没有影响。

✔ 几乎无磁场泄露的光学系统可实现无失真高分辨率成像。

✔ 使用Inlens SE探测器，可通过真正的表面敏感性SE 1电子技术生成图像，从而只获得样品最顶层的信息。

✔ 使用Inlens EsB探测器的探测设计理念，在非常低的电压下获得真实的材料成分衬度。

Gemini 2

充分利用快速分析

任何样品的全面表征都需要高性能的成像和分析，另外，如今的用户都希望设备易于设置和操作。Gemini 2光学系统能满足这些需求。

高分辨率成像与分析可无缝切换

● GeminiSEM 460配备具有双聚光镜的Gemini 2光学系统。

● 连续调整电子束的电流强度，同时优化束斑大小。

● 可在低束流的高分辨率成像与高束流的分析模式之间进行无缝切换。

● 在更改成像参数后无需进行校准，省时省力。

保持灵活，高效工作

✔ 保持灵活：使用高电子束能量密度在低束流和高束流下进行高分辨率成像和分析，不受您选择的电子束能量影响。

✔ 样品不会暴露于磁场中：实现了大观察视野内的无失真EBSD图案和高分辨率成像。

✔ 样品倾斜转动时不影响电子光学系统的性能，磁性样品也能轻松成像。

✔ 选择适合样品的消荷电模式：局部电荷补偿、腔室内可变压力或NanoVP。

Gemini 3

在低于1 kV条件下成像——整合专业知识

Gemini 3光学系统优化了低电压和极低电压下的分辨率并实现了衬度增强，确保从1 kV到30 kV的所有工作条件下成像效果可达高分辨率且包含两个彼此协同运作的组件：Nano-twin物镜和全新的电子光学引擎Smart Autopilot。此外，它还具有高分辨率电子枪模式和可选的样品台减速技术（Tandem decel）。

分辨率模式——让您看到更多细节

通过两种模式可获得SEM图像的更多细节和更多探测信号。在高分辨率电子枪模式下，电子束色差降低，从而实现了更小的束斑；在样品台减速技术模式下，为样品施加减速电压，从而可进一步提高1 kV以下的图像分辨率并增强背散射探测器的检测效率。

Nano-twin物镜的优势：

● 在低电压和超低电压下达到亚纳米级分辨率，实现更出色的信号探测效率。

● 与标准Gemini物镜相比，在低电压下的物镜像差降低了三倍，从而使样品上的磁场降低了三倍，约为1 mT。

● 优化几何结构和静电场及磁场分布。

● Inlens探测器在低电压成像条件下的信号得到增强。

● 这些特性提供了在低于1 kV的条件下完成亚纳米级成像的能力，而无需将样品浸入电磁场中。

工作原理：

● Smart Autopilot优化了通过镜筒的电子轨迹，从而确保了在每个加速电压下尽可能高的分辨率。

● 该自动功能实现了在整个放大倍率范围内（从1倍到2,000,000倍）的无缝对准自由切换，并将观察视野增加了10倍，从而可以在单幅图像中对13 cm的物体成像。

● 32k×24k的图像存储分辨率与新的概览模式相结合，确保在超大观察视野内获得无拼接的像素密度。