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TruPlasma Bipolar 4010等离子电源

简要描述:TruPlasma Bipolar 4010等离子电源新一代双极性脉冲发生器
TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工艺电源专为借助 PVD、PECVD 和反应溅射工艺的等离子体辅助镀膜技术而开发;在太阳能电池与半导体制造、耐磨装饰涂层涂覆以及建筑玻璃镀膜中,其凭借灵活可塑的输出信号的电弧管理提供出色结果。

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  • 更新时间:2022-05-31
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TruPlasma Bipolar 4010等离子电源

新一代双极性脉冲发生器

TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工艺电源专为借助 PVD、PECVD 和反应溅射工艺的等离子体辅助镀膜技术而开发;在太阳能电池与半导体制造、耐磨装饰涂层涂覆以及建筑玻璃镀膜中,其凭借灵活可塑的输出信号和的电弧管理提供出色结果。

极低电弧能量

全数字化电弧管理确保出色的涂层质量和生产效率。

可调波形

通过输出信号变化轻松适配不同工艺。

一台发生器,多种用途

直流电、被动脉冲式直流电和双极脉冲:得益于多种调整选项可节约成本。

集成的水冷

无需外部部件,因此空间需求极低。

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TruPlasma Bipolar 4010等离子电源

顶级供电系统

典型应用领域为半导体及光伏生产、建筑玻璃涂层以及质量顶尖的装饰性耐磨涂层制造。此外可特别用于 PVD (物理气相沉积)和 PECVD (等离子体增强化学气相沉积)。



涂层、提高生产效率

具有极少电弧能量的全数字化电弧管理实现较高的涂层质量和沉积速率。即使在要求严苛的反应工艺中,TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列仍始终确保稳定的工艺电源,从而保障稳定的等离子体状态。

通过灵活选择输出信号可多样化使用

灵活度更高、成本更低

凭借可调波形,TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列电源能够相当轻松地适配不同工艺要求。得益于输出信号的灵活选择(直流电、被动脉冲式直流电或双极脉冲),可多样化使用该电源,因此有助于降低总体运行成本 (TCO)。

TruPlasma Bipolar 4060 双极电源

全部集成于一个外壳之中

由于水冷装置完整集成于不受环境影响的发生器壳体内,因此无需外部部件。


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